通常来讲超纯水设备与纯水设备分别用来制取超纯水与纯水的一个装置。通常情况下，用电导率来衡量纯水，而用电阻率来衡量超纯水的水质。一般人为电导率在1-10μs/cm的为纯水，电阻率1-18MΩ•cm以上的为超纯水。这是二者在产水水质上的差异。
通常来讲制取纯水的设备，一般采用离子交换工艺，现代的做法，多采用反渗透装置作为主要制取工艺。在某些行业，还会采用二级反渗透工艺。根据原水的差异化，在反渗透的前端还有不完全一样的预处理工艺。
还有在反渗透装置基础有混床，混床是离子工艺一种类型。现代的做法，多采用EDI装置作为超纯水的主要制取工艺。根据用水的要求的差异化，后端的处理工艺也不完全一样。
纯水设备大多数应用在对用水要求不是太高的行业，比如表面处理，精洗化工，塑胶、五金件的初级清洗；而超纯水设备则多应用在用水要求特别高的行业，比如柔性线路板的清洗，手机玻璃盖板的清洗，摄像头模组、显示模组的制造，半导体等等。
